Алюмінієвий нітрид (ALN) керамічні зміни у високотемпературних процесах
Aln Ceramic Chick Excel у високотемпературних напівпровідникових та промислових застосуванні завдяки їх винятковим тепловим та механічним властивостям:
Екстремальна температурна стійкість - стабільно працює від кріогенного до 1000 градусів (в інертній атмосфері), перевершує глинозем (обмежений 800 градусів) та полімерами.
Thermal Shock Resilience–Withstands rapid thermal cycling (ΔT >500 градусів \/сек) без розтріскування, критично важливі для швидкої термічної обробки (RTP) у виробництві мікросхем.
Низьке теплове розширення - CTE 4,5 проміле\/К тісно відповідає кремнієвим пластинам (2,6 проміле\/к), мінімізуючи вафельну версію під час опалення.
Висока теплопровідність - 170-200 w\/Mk тепловіддача підтримує рівномірну температуру вафель (± 1 градус у 450 мм вафлях при 600 градусах).
Oxidation Resistance–Forms a protective Al₂O₃ surface layer at >800 градусів у повітрі, збереження структурної цілісності.
Плазма та хімічна стабільність - празми галогени (CL₂\/F₂) та металеві органічні попередники в камерах MOCVD при 900 градусах.
Ключові програми:
Етапи літографії EUV (менше або дорівнюють 5 нм вузлів)
Gan epitaxy реактори (800-1100 ступінь)
Відпал живлення (700 градусів, 5 хвилин циклів)
З нульовим виїздом і<0.1μm thermal deformation, AlN chucks enable high-precision processing in advanced semiconductor fabs and LED production. Their 10x longer lifespan than traditional materials reduces downtime in 24/7 wafer fabs.
ДетальнішеАлюмінієвий нітрид керамічний ЧакІнформація, відвідайте наступні www.ceramicstimes.com
