Напівпровідникова промисловість дотримується промислового закону «одне покоління технології, одне покоління процесу, одне покоління обладнання». Продуктивність, якість і точність компонентів безпосередньо визначають надійність і стабільність обладнання, що в свою чергу впливає на технологічний рівень виробництва напівпровідників.
Загалом витрати на компоненти обладнання становлять від 50% до 80% вартості обладнання, причому ключові компоненти займають дуже високу частку. Беручи як приклад обладнання для травлення, десять основних типів ключових компонентів становлять близько 85% загальних витрат на компоненти обладнання. Очевидно, що технологія основних компонентів є основою для виживання та розвитку промисловості напівпровідникового обладнання.
Серед компонентів, виготовлених із різних матеріалів, прецизійна кераміка є найбільш репрезентативними точними компонентами в напівпровідниковій промисловості, відіграючи вирішальну роль як у передніх-, так і в-процесах.
У передньому -обладнанні прецизійна кераміка в основному використовується для травлення, осадження тонких- плівок, іонної імплантації, літографії, окислювальної дифузії та іншого технологічного обладнання. Прецизійні керамічні компоненти є одними з типів компонентів, розташованих ближче до пластини у виробництві напівпровідників. Більшість прецизійних керамічних компонентів, які використовуються в напівпровідниковому обладнанні, розташовані всередині робочої камери, і деякі з них безпосередньо контактують з пластиною.
Наприклад, у сучасних літографічних машинах для досягнення високої точності процесу широко використовуються керамічні компоненти з хорошими функціональними композитними властивостями, структурною стабільністю, термічною стабільністю та точністю розмірів. До них належать E-патрони, вакуумні патрони, блоки, пластини з водяним-охолодженням магнітної сталевої рами, рефлектори, напрямні рейки тощо. Такі ключові компоненти зазвичай виготовляються з точних керамічних матеріалів.
У обладнанні для травлення керамічні матеріали зазвичай мають хорошу фізичну та хімічну стійкість до корозії, а також високі робочі температури. Тому вони широко використовуються у вікнах огляду, газорозподільних пластинах, соплах, ізоляційних кільцях, кришках, фокусних кільцях і електростатичних патронах.
У кінцевих -процесах прецизійна кераміка широко використовується для розрідження пластин, нарізання кубиками, склеювання та інших етапів. За даними відповідних експертів, на прецизійну кераміку припадає від 10% до 16% вартості напівпровідникового обладнання.
Таким чином, прецизійна кераміка, як ключовий матеріал у напівпровідниковій промисловості, є надзвичайно важливою для розвитку напівпровідникової галузі.
Під впливом глобальної хвилі технологічної революції штучного інтелекту галузь напівпровідників переживає безпрецедентні оновлення та розширення. Через передачу попиту попит на напівпровідникове обладнання та його основні компоненти продовжує зростати. Серед них прецизійні керамічні компоненти значно виграють від цієї макротенденції, демонструючи загальну траєкторію «постійного зростання».
Слід підкреслити:
Гонка озброєнь у сфері обчислювальної потужності штучного інтелекту безпосередньо перетворюється на надзвичайну гонитву за вдосконаленими можливостями виробництва напівпровідників. Навчання та запуск великих моделей вимагає величезної кількості високо-продуктивних чіпів штучного інтелекту, що значно спричиняє значні капіталовкладення в передових логічних процесах (наприклад, 2 нм, 3 нм) і передових технологіях упаковки (наприклад, CoWoS, HBM). Щоб збільшити потужність і покращити рівень процесу, виробники пластин повинні придбати більш досконале базове обладнання, як-от інструменти для літографії, травлення та нанесення тонкої -плівки.
Оскільки прецизійна кераміка є ключовими компонентами, які визначають надійність і стабільність обладнання, більш просунуте напівпровідникове обладнання вимагає від прецизійних керамічних компонентів вищої продуктивності, наприклад більшої чистоти, точності та надійності.
Тому на тлі хвилі штучного інтелекту попит на прецизійну кераміку неухильно зростатиме, особливо на прецизійні керамічні компоненти високого-класу, яких стане дефіцитом.
ШІ займає високу позицію в глобальній технологічній конкуренції, а напівпровідникове обладнання та його основні компоненти стали стратегічними ресурсами контролю. Висока{1}}прецизійна кераміка, як основні компоненти ключового обладнання, такого як інструменти для літографії, травлення та нанесення, безпосередньо визначає, чи зможе китайська обчислювальна інфраструктура штучного інтелекту досягти автономності та контролю. У разі припинення -зовнішнього постачання вплив не обмежиться кількома одиницями обладнання, а вплине на процес розвитку всієї країни в епоху ШІ. Таким чином, заміщення ніколи не є питанням «оптимізації витрат», а обов’язковим для забезпечення «суверенітету розвитку» технології ШІ.
Нинішня реальність така, що в галузі прецизійної кераміки для-напівпровідникового обладнання високого класу рівень локалізації залишається низьким. Такі ключові категорії, як електростатичні патрони та керамічні нагрівачі, значною мірою залежать від імпорту, створюючи серйозну перешкоду для безпеки промислового ланцюга. Завдяки макрополітиці, що підтримує автономію ланцюга постачання, швидкому розширенню ринку штучного інтелекту та стратегічному поштовху вітчизняних виробників обладнання, які перебувають на наступних ланках, активно імпортувати локалізовані компоненти для оптимізації ланцюгів постачання, тепер чітко визначено актуальність і вікно можливостей для імпортозаміщення високо-прецизійної кераміки для напівпровідникового обладнання.