Технологія виробництва високопродуктивної кераміки

The "chokepoint" technologies in China's semiconductor industry represent a crucial bottleneck that must be overcome to achieve technological self-sufficiency. From a materials perspective, advanced ceramics pose particularly acute challenges-core semiconductor manufacturing processes such as etching, epitaxial deposition, and ion implantation demand components with exceptional thermal conductivity, corrosion resistance, low thermal розширення, висока механічна міцність та жорсткість .

Різні вдосконалені кераміки, включаючи карбід кремнію (SIC), кордерит та нітрид алюмінієвого (Aln) -ceak Excel у конкретних додатках ., однак високоефективна кераміка випускника стала домінуючою матеріалом у напівпровідниковому обладнанні завдяки їх видатній цінній комірці, що робить їх найвищою у виробництві,}}}}, що їх найчастіше використовує цереймейм, що є церамікою 5,}}}}}}}}}}}}}} 4}}}}}-}-}-in}}}}}}}-ною ніве-цераміці, що є церійним церамією, що є церамією, що використовується}} ною ніверомією, що є церамією, церамією 5 років, я керував цереймеймами 5 р.

Однак, виконуючи суворі вимоги до продуктивності напівпровідникової галузі, представляє кілька викликів у верхній течії, включаючи оптимізацію формулювання, вдосконалення процесу, можливості обладнання, якість сировини (e . g ., порошки та добавки), а також тривалий вміст валідації та важливу циклі на циклі {{2 suppliers while simultaneously creating innovation opportunities. To address the application requirements of ceramic components in semiconductor equipment, this article provides a detailed introduction to the raw material properties, forming processes, sintering technologies, and precision machining methods for manufacturing high-performance alumina ceramics. Additionally, by analyzing the current applications of typical alumina ceramic components У напівпровідниковому обладнанні професор Шансі Ши представляє тенденції розвитку вітчизняних керамічних компонентів для напівпровідникових пристроїв у Китаї .

Це проникливе обговорення, поєднуючи технічний аналіз та перспективи галузі, очікується, що запропонує нові ідеї та практичні вказівки щодо керамічних науково -дослідних та дослідницьких робіт з глиноземи, виробництва обладнання та вітчизняної заміни .}}}}
Ці досягнення демонструють, як матеріальні інновації забезпечують можливості виготовлення напівпровідників наступного покоління, при цьому зменшуючи залежність від іноземних постачальників ., успішна розробка таких спеціалізованих керамічних рішень вимагає тісної співпраці в усьому ланцюзі поставок-від виробників порошку до обладнання OEM та кінцевих користувачів .}}}