Опис продукції
Керамічні кільця для осадження з оксиду алюмінію є важливими витратними компонентами в реакційних камерах обладнання для хімічного осадження з парової фази (CVD) і фізичного осадження з парової фази (PVD) -основних пристроїв у виробництві напівпровідникових мікросхем. Вимоги до вибору матеріалів і застосування надзвичайно суворі. Як правило, вони встановлюються навколо підставок для пластин (електростатичних патронів), вони є частиною реакційного простору процесу. У вимогливому середовищі виробництва напівпровідників основна роль кільця для осадження полягає в захисті дорогих компонентів сердечника (таких як електростатичні патрони) від забруднення та відкладення побічних продуктів процесу, забезпечення однорідності процесу та підтримання чистоти та стабільності камери.
Продуктивність продукту
- Надзвичайна стійкість до корозії: здатність протистояти ерозії від різних корозійних, високоактивних плазмових газів (наприклад, газів на основі фтору-, хлору-), які використовуються в процесах CVD/PVD, забезпечуючи подовжений термін служби.
- Неперевершена стійкість до високих-температур: зберігає структурну стабільність і ефективність при температурах процесу, що досягають сотень або навіть тисяч градусів Цельсія, без деформації чи плавлення, демонструючи свої характеристики високо{1}}температурної глиноземної кераміки.
- Висока чистота та низький рівень забруднення: високо{0}}кераміка з оксиду алюмінію (наприклад, 99,9% або вище) мінімізує вивільнення забруднюючих речовин, як-от іонів металу, із самого матеріалу в технологічну камеру в умовах високої-температури та плазми, запобігаючи забрудненню пластин. Напівпровідникові -застосування прагнуть до найвищої чистоти 99,99% глиноземної кераміки.
- Чудова механічна міцність і твердість: має достатню жорсткість, щоб підтримувати стабільність розмірів, витримуючи механічні навантаження та сили встановлення. Надійні механічні властивості є основою для всіх форм-чи то керамічних плит із оксиду алюмінію, керамічних стержнів із оксиду алюмінію (бруски з оксиду алюмінію) чи труб із оксиду алюмінію.
- Чудова ізоляція: як ізоляційний матеріал кераміка з оксиду алюмінію не перешкоджає функції адгезії електростатичного патрона для пластин, забезпечуючи безпеку та стабільність процесу.
- Помірна теплопровідність: допомагає гомогенізувати температурне поле всередині камери, одночасно запобігаючи перегріву. Це цінна властивість компонентів, що розсіюють тепло, таких як керамічні підкладки з оксиду алюмінію або керамічні охолоджувальні пластини.
- Висока точність і оброблюваність: за допомогою вдосконалених методів формування кераміки та точної механічної обробки можна досягти складних форм із винятковою точністю розмірів і чистотою поверхні.
Застосування продукту
- Сировина: потрібен тонкий порошок глинозему, особливо для високо{0}}чистої кераміки глинозему. Оксид алюмінію (Al2O3) є основною хімічною речовиною.
- Формування та спікання: залучає виробників кераміки з оксиду алюмінію, які використовують методи виробництва керамічних заготовок з оксиду алюмінію, таких як блоки з оксиду алюмінію, пластини з оксиду алюмінію (листи з оксиду алюмінію), труби з оксиду алюмінію (труби з оксиду алюмінію) і диски з оксиду алюмінію.
- Точна механічна обробка: виконується фахівцями з обробки глиноземної кераміки або постачальниками деталей, перетворюючи заготовки на кінцеві компоненти, такі як керамічні пластини з оксиду алюмінію, керамічні стрижні з оксиду алюмінію або складні конструктивні частини з оксиду алюмінію.
- Інші форми та застосування: окрім кілець для осадження, глиноземна кераміка має різноманітне застосування в напівпровідниках, наприклад керамічні підкладки з оксиду алюмінію (підкладка al2o3) для упаковки, керамічні мембрани з оксиду алюмінію та труби з волокна глинозему для ізоляції.
Грамоти та відзнаки
Наші експерти мають 20-річний досвід науково-дослідних розробок у незалежній розробці та виробництві передових керамічних матеріалів і прецизійної кераміки, що відповідає світовим-стандартам. Ми були визнані Національним високо-технічним підприємством і є провідним проектом талантів у місті Шаосін, відомому як «Рідне місто вчених».
Ми суворо дотримуємося системи управління якістю ISO 9001, щоб забезпечити послідовність:
- 100% перевірка сировини
- Сучасні виробничі лінії гарячого{0}}пресування
- -Внутрішні випробування: щільність, твердість, аналіз мікроструктури
- Сертифікати-третіх сторін (SGS, CE, ROHS доступні за запитом)
заводська міцність
Ми маємо передовий технічний досвід у процесах спікання, формування, шліфування, обробки з ЧПК, лазерного свердління, шліфування та полірування, що дає нам змогу налаштовувати різноманітні керамічні вироби відповідно до специфікацій клієнтів. Наші цифрові майстерні та розумні фабрики, оснащені-системами збору даних у реальному часі, використовують принципи економічного виробництва, щоб мінімізувати відходи та максимізувати ефективність використання ресурсів. Інтегруючи технологію обробки з ЧПК, промисловий Інтернет речей і автоматизовані системи керування, ми досягаємо безперебійного підключення та спільної роботи виробничого обладнання, тим самим максимізуючи економію виробництва.
Популярні Мітки: керамічні наплавлювальні кільця, виробники керамічних наплавлювальних кілець, постачальники, фабрика
